1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏 。
2、全自动/手动设计,炉管自动旋转,尾部带冲洗功能。
3、酸液可回收重复利用,可洗炉管尺寸到半导体4"~12"或其它更大尺寸。
4、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI,所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理,电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件。
5、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。
6、设备设计标准按半导体行业标准(SEMI-S2-93)执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证。
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