1、机台采用进口劳士领板材，长期可工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏 。
2、全自动设计硅片扩散前清洗超声动作 。
3、超声槽带加热提动溢流等功能
4、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI，所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理，电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件；
5、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。
6、设备设计标准按半导体行业标准（SEMI-S2-93）执行，ISO9001质量管理体系进行规范和保证。
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