联盛半导体科技(无锡) 有限公司成立于2023年5月,是山东联盛电子设备有限公司的全资子公司,工厂地址位于江苏省无锡市锡山区芙蓉中三路99号青云三座1楼,致力于半导体高端湿制程设备的研发、生产与销售。
山东联盛电子设备有限公司目前已申请国家专利30多项,其中发明专利8项,并建立了省级企业技术中心,省级专精特新企业,国家级高新技术企业,公司于2016年申请通过IS09001质量体系认证,IS014001质量环境体系认证,半导体SEMI-S2专业认证。于2020年、2022年分别和山东大学微电子学院,青岛大学电子信息工程学院建立产学研合作,同时总经理马玉水被青岛大学聘为创新创业导师。
我们产品服务的领域包括硅材料、化合物半导体材料、功率半导体、高校和科研院所等,主要设备有:全自动RCA清洗机、全自动镀镍镀金清洗机、全自动最终清洗机、全自动腐蚀减薄清洗机、全自动去边清洗机、全自动沟槽蚀刻机、全自动二氧化硅蚀刻、炉管清洗机、CVD前清洗机、CDS(SDS)系统、B Clean、0xideRemove、 Nitride Remove、PR Strip,lift off、 ParticleRemove, Solvent Clean、Metal Etch,M2 Clean。
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